産業ガス業界辞典

Dictionary

産業ガス業界辞典

クリーン容器

【Clean Container】

読み:くりーんようき

半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。

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