産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
コイルチューブ
【Coil Tube】
読み:こいるちゅーぶ
主に半導体・液晶製造分野でのガス供給配管に採用されている。
BA(光輝焼鈍)コイルチューブは30~200m、EP(電解研磨)コイルチューブの場合、30~100mを用いる。
採用することにより、一般的なパイプに比べ、1本当たり100m以上の長さを持つことが出来る点から、溶接箇所が一桁台へ削減可能で、配管施工の工程が短縮できる。
加えて、溶接不良や汚染、パーティクル発生を避けられるといった効果がある。