ユーザサイドにガス発生装置を設置してパイピングでガス供給を行うのが、オンサイトと呼ばれる供給法だが、半導体工場の隣接して300〜1500m3/hの小型窒素ガス発生装置を設置してガス供給する事業を、鉄鋼や石油化学向けの大型空気分離装置によるオンサイト供給と区別してミニオンサイトと称した。
近年半導体工場でのガス消費量は増大し、ミニオンサイトとは呼べる規模ではなくなってきている。