排ガス中や酸素プラント、熱処理炉内の酸素濃度を測定するために使用される。
主に測定方式にはジルコニア式、ガルバニ電池式、磁気式がある。ジルコニア式は高温ガスを直接サンプリングでき、燃焼ガス測定に向いている。
可燃性ガスを多く含む場合は、燃焼反応を起こし、測定すべき酸素を消費してしまう。
ガルバニ電池式、磁気式は、可燃性ガスが含まれていても、影響を受けないが、ガルバニ式は高濃度の酸素測定や炭酸ガスを多く含む場合は不向きで、磁気式はppmレベルの測定に不向きである。