産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
パーティクルカウンター
【Particle Counter】
読み：ぱーてぃくるかうんたー
半導体プロセスなど微粒子の混入を嫌う製品を製造する空間に混入した微粒子の大きさと数を計測する装置。
計測対象によって空気用、液体用、ガス用がある。
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【Particle Counter】
読み：ぱーてぃくるかうんたー
半導体プロセスなど微粒子の混入を嫌う製品を製造する空間に混入した微粒子の大きさと数を計測する装置。
計測対象によって空気用、液体用、ガス用がある。
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