産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
圧力センサ
【Pressure Sensor】
読み：あつりょくせんさ
ガス圧力を電気信号に変換して圧力測定を行う機器。
半導体分野の微圧から超高圧までの圧力測定をはじめ、微小な漏洩や流量監視を行う。
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【Pressure Sensor】
読み：あつりょくせんさ
ガス圧力を電気信号に変換して圧力測定を行う機器。
半導体分野の微圧から超高圧までの圧力測定をはじめ、微小な漏洩や流量監視を行う。
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