半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。
広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス（製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス）の2種類がある。
特殊材料ガスは、プロセスガスや半導体材料ガスとも呼ばれる。特殊材料ガスは、少量多品種で20種類以上にも及ぶ。まさに特殊（スペシャル）なガスである。