産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
ターボ分子ポンプ
【Turbo Molecular Pump】
読み：たーぼぶんしぽんぷ
ガス配管中やシリンダーの残ガスを真空排気するためのポンプ。
半導体製造装置のチャンバー内のガスを抜き切るためにも使われてる。
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【Turbo Molecular Pump】
読み：たーぼぶんしぽんぷ
ガス配管中やシリンダーの残ガスを真空排気するためのポンプ。
半導体製造装置のチャンバー内のガスを抜き切るためにも使われてる。
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