90年代に東北大学工学部大見忠弘教授が提唱した半導体デバイスの微細加工におけるプロセス概念。
半導体プロセスの微細加工での問題点は、ウェーハ原料や加工に使用する材料の不純物であるとして、ガス、ケミカル、水などの材料、素材の高純度化とユースポイントまでの供給環境のクリーン化を図るというもの。
ガス供給ではガスだけでなく、供給機器の電解研磨処理などのクリーン化が進展した。