産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
ガスキャビネット
【Gas Cabinet】
読み:がすきゃびねっと
半導体工場で使用される特殊材料ガスを安全に使用するために特殊材料ガスシリンダーを格納する容器保管庫。ガスキャビネット、シリンダーキャビネット、ボンベボックスなどと呼ばれている。
シリンダー交換時には窒素ガスによるパージ機能ガス漏洩に際して、洩れ検知などの安全対策が施され、可燃性、毒性、腐食性を有する多様な特殊材料ガス供給の安全に貢献している機器である。