産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
ガスケット継手
【Gasket Fittings】
読み:がすけっとつぎて
ガス漏洩や異物混入の防止のため、継手内部にガスケットと呼ばれる金属製の固定シールを密着させ、気密性を高めたもの。
異物混入を防ぐために、継手内を真空状態にする。
クリーンチューブやMFC、シリンダーキャビネットなどの装置内、半導体製造装置の間などを接続する。
標準サイズは1inch以下で、温度と圧力ともに高低幅広く対応する。
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【Gasket Fittings】
読み:がすけっとつぎて
ガス漏洩や異物混入の防止のため、継手内部にガスケットと呼ばれる金属製の固定シールを密着させ、気密性を高めたもの。
異物混入を防ぐために、継手内を真空状態にする。
クリーンチューブやMFC、シリンダーキャビネットなどの装置内、半導体製造装置の間などを接続する。
標準サイズは1inch以下で、温度と圧力ともに高低幅広く対応する。
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