産業ガス業界辞典
Dictionary
産業ガス業界辞典
MFC
【Mass Flow Controller】
読み：えむえふしー
特殊材料ガスの微小な流量を電子制御するための機器。
CVDや拡散、エッチャー、イオン注入、PVDなど半導体製造装置に特殊材料がすを供給する際に使われる。
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【Mass Flow Controller】
読み：えむえふしー
特殊材料ガスの微小な流量を電子制御するための機器。
CVDや拡散、エッチャー、イオン注入、PVDなど半導体製造装置に特殊材料がすを供給する際に使われる。
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