産業ガス業界辞典

半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。 広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス（製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス）の2種類がある。 特殊材料ガスは...続きを読む

半導体製造プロセスをはじめ溶接、各種分析などでガスを精製するための装置のこと。 半導体工場では窒素オンサイト、液体酸素、液体アルゴンタンクから製造装置の手前で精製する。

大気から深冷空気分離装置で製造される酸素、窒素、アルゴンなどの総称。 キセノン、ネオン、クリプトンも大気分離ガスであるが、こちらはレアガスと呼ばれる。

Semiconductor Equipment&Materials international 1970年に半導体関連業界の育成を目的に米国半導体関連機器、材料メーカーが中心に組織した団体。

標準ガスの中で、分析機器の校正用のガスである。 基準となるガスという意味でゼロガスともいう。

ケミカルタンカー、プロダクトキャリアー、LPG,LNGタンカーなど船舶に搭載する窒素PSA.。 窒素ガスは防爆用に用いる。 可燃性の積み荷であるLPGやLNGなどを降ろした後のタンク内のパージ用である。PSAの他に膜分離装置を使う場合も...続きを読む

主に溶材商（ガスディーラー）が加盟している業界組織団体。 正式には全国高圧ガス溶材組合連合会。

産業ガスの中には、炭酸ガスや水素のように鉄鋼、石油精製、石油化学、アンモニア、ソーダ電解の製造工程で出てくるオフガスを回収、精製して製品化しているものがある。 これら原料となるオフガスを供給する事業者の事を原料ガス供給者、原料メーカー、ソ...続きを読む

深冷空気分離装置においてアルゴン製造の原料となるアルゴン分を10〜15%含んだ酸素ガスをアルゴン純度96%程度に高めたもの。 残りは酸素分を含んでおり、粗アルゴンは溶接用シールドガスとして販売されている。

産業ガスの中には、炭酸ガスや水素のように鉄鋼、石油精製、石油化学、アンモニア、ソーダ電解の製造工程で出てくるオフガスを回収、精製して製品化しているものがある。 これら原料となるオフガスを供給する事業者の事を原料ガス供給者、原料メーカー、ソ...続きを読む

火力発電所のタービン発電機のコイル導体冷却用には水素ガスが用いられている。 タービン発電機は、コイルや鉄心でエネルギー損失が生じると発熱し、温度が上昇する。温度が上がりすぎると発電機の安全性や寿命に影響を及ぼすため冷却が不可欠となる。 ...続きを読む

ガス配管中やシリンダーの残ガスを真空排気するためのポンプ。 半導体製造装置のチャンバー内のガスを抜き切るためにも使われてる。

高圧ガス容器は高圧ガス保安法で定められた一定期間を経過すると、登録された容器検査所で再検査を受けなければ、再充填することができない。 主な再検査の内容は、耐圧試験、内面検査、塗装を剥がしての外観検査、バルブ気密試験となっている。

病院内で行われてきた医療器具の滅菌作業を専門会社で代行する事業のこと。

鋼製の継ぎ目なし高圧ガス容器のこと。

アルミ製のライナー（内容器）を炭素繊維で補強した高圧ガス容器のこと。

鋼製のライナー（内容器）を炭素繊維で補強した高圧ガス容器のこと。

樹脂製のライナー（内容器）を炭素繊維で補強した高圧ガス容器のこと。

ダイヤフラムと呼ばれる膜状の仕切り板によってガス流路を開閉するバルブ。 超高純度ガス、可燃性ガス、毒性ガス、レアガスなど漏洩を極力抑えたいガスや場面で使用される。

ボイラー循環水や食品・飲料用原料水中の溶存酸素を不活性ガスである窒素を用いて除去する技術のこと。ストリッピングとも言われる。 ボイラー循環水のように閉鎖配管内で繰り返し使用する水は、長年使用していると水中の酸素分により配管の腐食、スラリが...続きを読む