産業ガス業界辞典

FCVへの水素充填を行う水素ステーションの設置に際して、最適な用地が確保が難しいケースに対応して、トラック架台にディスペンサー、圧縮機、水素貯蔵部などをマウントした水素充填設備のこと。 移動式といっても、充填を行う場合は充填場所の許可申請...続きを読む

医療施設の中で医療用酸素をはじめとするガスを送給するための配管。酸素の他、炭酸ガス、吸引ガスを貯蔵施設から手術室、回復室、病室などをつないでいる。

半導体製造時の特殊材料ガスの不純物除去にガス配管内のフィルター用として使われている。

90年代に東北大学工学部大見忠弘教授が提唱した半導体デバイスの微細加工におけるプロセス概念。 半導体プロセスの微細加工での問題点は、ウェーハ原料や加工に使用する材料の不純物であるとして、ガス、ケミカル、水などの材料、素材の高純度化とユース...続きを読む

大気から深冷空気分離装置で製造される酸素、窒素、アルゴンなどの総称。 キセノン、ネオン、クリプトンも大気分離ガスであるが、こちらはレアガスと呼ばれる。

液化水素の大量輸送手段であり、40ftコンテナでは圧縮水素トレーラー12台分に相当する量を一度に運ぶことができる。

客先に設置した液化ガス貯槽（CE）にローリー車で液を運ぶ供給法のこと。 中規模のガスユーザーに対して行われる。 ユーザーはCEの貯めた液を蒸発させて使用する。

貯槽や容器に入っている液面を自動的に検知するための機器。 フロート式はフロートが常に液面に浮いていて、フロートの上下動がワイヤーあるいはテープにより液面計本体に伝えられ、液面の位置が表示される仕組みとなっている。 そのほか、平板状のディ...続きを読む

体積の単位。立方メートルのことだが、業界慣例では、「リューベ」と呼称する。これはm3を漢字で表記する際、立方米とし、この読み方からリューベになったとみられる。 産業ガス業界では、Sm3とNm3の二つのm3を使っている。Sm3は30℃、1気...続きを読む

アルシン、ホスフィンなど高い毒性を持った特殊材料ガスを安全に貯蔵し輸送するためのシリンダ。 大気圧以下の低圧充填であり、高圧ガス保安法適用外になる。 アルミ製シリンダー内部にカーボン系の特殊吸着剤が充填されており、吸着剤でガス成分を吸着...続きを読む