Dictionary
読み:えるじーしー
読み:エレクトロニクスガス
半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。 広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス(製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス)の2種類がある。 特殊材料ガスは...続きを読む
読み:えれくとろにくすがすでぃーらー
読み:おおがたようき
読み:おるそぱらへんかん
読み:おんさいと
読み:おんしつこうかがす
読み:おんだんかけいすう
温暖化計数(GWP Global Warming Potential)は、炭酸ガスを1とした時の何倍の温室効果があるのかを示した係数のこと。 個別のガスのGWPは、気候変動に関する政府間組織(IPCC)によって公表されている。
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