Dictionary
読み:ておんちょそう
読み:てっこうおふがす
読み:でんかいけんま
ガス供給のパイプやチューブに微細なごみが付着しないように、内面平滑度を微小にする技術のこと。 メッキの逆原理で、電解液の入った電解槽に被研磨物を浸し、電気を流す。 被研磨物の表面の金属がイオン化して溶出することで、平滑な研磨面が得られる...続きを読む
読み:でんしざいりょうがす
半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。 広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス(製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス)の2種類がある。 特殊材料ガスは...続きを読む
読み:てんぷぶんしょ
読み:とくしゅがす
半導体製造プロセスで使用されるガスの総称。 広義では窒素、酸素、アルゴン、水素、炭酸ガスなどのバルクガスと半導体の材料となるガス(製造装置ごとに設置されたシリンダーキャビネットから供給される特殊材料ガス)の2種類がある。 特殊材料ガスは...続きを読む
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