産業ガス業界辞典

国際規格で統一された海上輸送用コンテナー。 サイズは20ft（6058ミリ）、40ft（12192ミリ）の2種類がある。内容量は20ftで2万ℓ、40ftで4万ℓとなる。

国際規格で統一された海上輸送用コンテナー。 サイズは20ft（6058ミリ）、40ft（12192ミリ）の2種類がある。内容量は20ftで2万ℓ、40ftで4万ℓとなる。

半導体製造装置へのガス供給において、ガス流路や基板レールを設置し、MFC、圧力センサ、圧力調整弁、バルブ、フィルターなどの構成機器を集めて配置した供給システムのこと。 設置面積の削減と溶接施工ポイントの削減で不要な紺谷メーションをを防ぐ。