産業ガス業界辞典

ガスが逆流した場合、迅速かつ自動的に防止する機能を果たす装置。 緊急遮断用としても利用できるスイング式と、主に小口径であるリフト式の２種類に分別できる。 逆流が生じると全設備に多大な影響が及ぶので、ガス供給配管には必ず設置される。

アセチレンなどでガスの燃焼速度がガスの流出速度より早くなった場合、逆流してガスが燃えること。 ボンベからホースを通じてガス供給している際に起こると、ホースやボンベの破損や爆発が起きる危険性がある。 逆火を防ぐため乾式安全器を調整器の前や...続きを読む

分析プロセスで試料を装置まで運ぶための圧力源となるガスのこと、半導体製造プロセスでもプロセスに必要なガスの圧送用に使われる。 不活性の窒素、アルゴン、ヘリウムの他、水素などもキャリアガスとなる。

ガスメーカーが充填メーカーやガスディーラーに対して、発行する取引契約書。

あるユーザーに対して、複数の事業者が液ガス製品を納品する事業形態。 その際、受け例側のCEタンクは、ユーザー所有となる。

プラント定修時やトラブル時に安定供給のために他地域からの横持輸送を掛ける、また、同業他社に応援を求めるなどの製品を手配することを玉繰りと呼んでいる。

空気分離プラントなど高圧ガス設備は、1年に1回定期修理を行い法定の検査を受けなければならない。 その際、プラントは停止してしまうので、産業ガスメーカーはお互いのプラントからガス製品を融通し合っている。これを玉融通という。

装置に損傷などが生じた場合、流入している危険性のあるガスなどが外部に漏れることを防止するもの。 高圧ガス保安法で、可燃性ガスや毒性ガス、液体酸素の貯蔵、およびこれらのガスを充填する5000ℓ以上の容器、タンクローリーには緊急遮断装置の設置...続きを読む

客先から充填所などに返却された後のガスが入っていない容器のこと。

液体ヘリウムや液体窒素の冷熱を利用して超電導マグネット、分析試料などを極低温状態に保つための低温保持槽のこと。 ステンレス板の2層構造で真空引きと断熱材で内部をマイナス180度以下に保つ。

ヘリウム冷凍機の極低温を用いて気体分子の運動エネルギーを奪い、残留ガスを冷却パネルに吸着して排気する溜め込み式の真空ポンプ。 半導体製造のスパッタリング工程やイオン注入工程などの真空装置の残留ガスを粗引きした後、使用して超高真空状態をつく...続きを読む

半導体、液晶パネル製造時のCVDチャンバーでのプロセス後に生成した反応生成物をエッチングレートの高いガスの化学反応で除去するために使われるガス。 ガスクリーニングの導入により、作業が自動化され、省人化、スループットの向上が図られた。 主...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称している。 化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来だがCCUSを行って大気中へのCO2排出を伴わない水素をブルー水素と称している。 グリーン水素の製造では...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称している。 化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来だがCCUSを行って大気中へのCO2排出を伴わない水素をブルー水素と称している。 グリーン水素の製造では...続きを読む

高純度の特殊材料ガスを高品質なまま供給するためのパイプライン。 銅管は継目なしのシームレス製と溶接パイプの2種類がある。 シームレス管は主に小径管で、溶接管は中口径以上である。4ｍの標準パイプは、TIG突合せ溶接で継ぎ、継手やバルブなど...続きを読む

地球温暖化を引き起こす原因となる温室効果を持ったガスの総称。GHG（greenhouse gas）ともいう。 温室効果ガスは大気圏内において地表からの放射された赤外線の一部を吸収することで温室効果をもたらす。 二酸化炭素、メタン、亜酸化...続きを読む

半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。

水素の環境価値を色分けで示したもので、化石燃料由来の水素の事をグレー水素と称している。

半導体工場では、日々、大量の特殊材料ガスが消費されている。こうした容器の交換、在庫管理などを行うための窓口商社のこと。 半導体工場内に事業所を設置、スタッフを常駐し、先の業務を日々行っている。

取り扱いのしやすさから、高圧ガス容器の軽量化が求められてきた。 シームレス中容器（47ℓ）では、マンガン鋼の重量（52㎏〜53㎏）に対して、6〜7㎏軽量のクロムモリブデン鋼容器がある。 鋼ではなくアルミやアルミのライナー（内容器）にFR...続きを読む