ガス充填や容器検査時に容器内に残存しているガスを抜く際に使用するポンプ。
半導体製造装置内のチャンバー内のガス抜き、PSAでのガス脱着でも使われる。
食品などの梱包から半導体製造装置まで、様々なグレードの真空ポンプがある。
低真空ではダイヤフラム真空ポンプやドライポンプ、中真空では油圧回転真空ポンプ、超高真空ではクライオポンプやターボ分子ポンプがある。