産業ガス業界辞典

ヘリウム冷凍機の極低温を用いて気体分子の運動エネルギーを奪い、残留ガスを冷却パネルに吸着して排気する溜め込み式の真空ポンプ。 半導体製造のスパッタリング工程やイオン注入工程などの真空装置の残留ガスを粗引きした後、使用して超高真空状態をつく...続きを読む

半導体、液晶パネル製造時のCVDチャンバーでのプロセス後に生成した反応生成物をエッチングレートの高いガスの化学反応で除去するために使われるガス。 ガスクリーニングの導入により、作業が自動化され、省人化、スループットの向上が図られた。 主...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称している。 化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来だがCCUSを行って大気中へのCO2排出を伴わない水素をブルー水素と称している。 グリーン水素の製造では...続きを読む

水素の環境価値を色分けで示したもので、再エネ由来の水素の事をグリーン水素と称している。 化石燃料由来の水素はグレー水素。化石燃料由来だがCCUSを行って大気中へのCO2排出を伴わない水素をブルー水素と称している。 グリーン水素の製造では...続きを読む

高純度の特殊材料ガスを高品質なまま供給するためのパイプライン。 銅管は継目なしのシームレス製と溶接パイプの2種類がある。 シームレス管は主に小径管で、溶接管は中口径以上である。4ｍの標準パイプは、TIG突合せ溶接で継ぎ、継手やバルブなど...続きを読む

地球温暖化を引き起こす原因となる温室効果を持ったガスの総称。GHG（greenhouse gas）ともいう。 温室効果ガスは大気圏内において地表からの放射された赤外線の一部を吸収することで温室効果をもたらす。 二酸化炭素、メタン、亜酸化...続きを読む

半導体プロセスで使用するガスをよりクリーンな状態で供給するために容器内面を電解研磨などでクリーン処理した容器のこと。

水素の環境価値を色分けで示したもので、化石燃料由来の水素の事をグレー水素と称している。

半導体工場では、日々、大量の特殊材料ガスが消費されている。こうした容器の交換、在庫管理などを行うための窓口商社のこと。 半導体工場内に事業所を設置、スタッフを常駐し、先の業務を日々行っている。

取り扱いのしやすさから、高圧ガス容器の軽量化が求められてきた。 シームレス中容器（47ℓ）では、マンガン鋼の重量（52㎏〜53㎏）に対して、6〜7㎏軽量のクロムモリブデン鋼容器がある。 鋼ではなくアルミやアルミのライナー（内容器）にFR...続きを読む