産業ガス業界辞典

圧縮された気体が一気に膨張すると温度が下がる現象のこと。 英国の物理学者J・P・ジュールとW・トムソンによって発見された。 膨張タービンによって、空気を冷却する深冷空気分離での重要な原理の一つ。

ガス使用現場において、複数のシリンダーを収納し、供給する装置。 容器本数では2〜3本から多いもので20本収納できるものもある。 複数のシリンダーをまとめて管理できるので、残量や使用量を確認して、幾つかの容器を一度に発注できる。

半導体製造装置へのガス供給において、ガス流路や基板レールを設置し、MFC、圧力センサ、圧力調整弁、バルブ、フィルターなどの構成機器を集めて配置した供給システムのこと。 設置面積の削減と溶接施工ポイントの削減で不要な紺谷メーションをを防ぐ。

ガス製造工場からローリー車で運ばれてきた液製品を受入、ボンベやLGCなどの小分け充填する工場のこと。シリンダーガスを製造する工場のことを指す。 酸、窒素、アルゴン、炭酸ガス、溶接用混合ガス（MAGガス）以外にも医療ガス、ヘリウム、レアガス...続きを読む

ガス製造工場からローリー車で運ばれてきた液製品を受入、ボンベやLGCなどの小分け充填する工場のこと。シリンダーガスを製造する工場のことを指す。 酸、窒素、アルゴン、炭酸ガス、溶接用混合ガス（MAGガス）以外にも医療ガス、ヘリウム、レアガス...続きを読む

充填所などで充填中に変動するガス温度を測定し、温度に対応した圧力、充填量を監視するためのもの。 単ガスのモニターの他、混合ガス充填用のモニターがある。

充填所でガスを充填した容器のこと。

標準ガスの中で、分析機器の校正用のガスである。 基準となるガスという意味でゼロガスともいう。

低温液化ガス貯槽からガスを使用する際、昇温してガス化するための設備機器。

半導体製造プロセスで使用した後の排ガスを閑居いう規制値以下に無害化処理するための装置。 無害化だけでなく地球温暖化対策のため温室効果の高いガスを分解、処理する役割も担っている。